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量產(chǎn)型波前測量儀 WaveMaster® PRO2

量產(chǎn)型波前測量儀 WaveMaster? PRO系列產(chǎn)品是為了適應(yīng)波前質(zhì)量大批量檢測需求而研發(fā)的兩款儀器?？勺孕性O(shè)置合格標(biāo)準(zhǔn)，并根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)自動判定合格和不合格。WaveMaster? PRO 2和WaveMaster? PRO 2 Wafer配備托盤系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對單個小鏡片的大批量檢測。WaveMaster? PRO 2 Wafer則可以對晶圓級鏡頭的波前進(jìn)行快速檢測。
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Product Details

量產(chǎn)型波前測量儀 WaveMaster® PRO系列產(chǎn)品是為了適應(yīng)波前質(zhì)量大批量檢測需求而研發(fā)的兩款儀器。可自行設(shè)置合格標(biāo)準(zhǔn)，并根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)自動判定合格和不合格。

WaveMaster® PRO 2和WaveMaster® PRO 2 Wafer配備托盤系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對單個小鏡片的大批量檢測。WaveMaster® PRO 2 Wafer則可以對晶圓級鏡頭的波前進(jìn)行快速檢測。

 

產(chǎn)品型號及技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品型號

WaveMaster® PRO 2

WaveMaster® PRO 2 Wafer
應(yīng)用范圍

批量測量單個小鏡片的波前質(zhì)量

批量測量晶圓級鏡片的波前質(zhì)量
測量模式 透射式 透射式
空間分辨率 138×138 138×138
測量精度 <λ/20 (RMS) <λ/20 (RMS)
測量重復(fù)性 <λ/200 (RMS) <λ/200 (RMS)
動態(tài)范圍 2000λ 2000λ
測量頻率 12Hz 12Hz
測量時間 <3秒/顆 <3秒/顆
樣品口徑 0.5mm...14mm 0.5mm...14mm
樣品焦距 -12mm...50mm -12mm...50mm
光源波長 532nm 532nm
樣品夾持器

托盤式，自動定位多孔位（最多100個）

 托盤式，自動定位晶圓托盤（4″/6″/8″）自動判定晶圓方向
每個托盤的鏡頭 最多148顆① ———
鏡頭托盤更換時間 10s 10s
晶圓托盤更換時間，包括校準(zhǔn) ＜2min ＜2min
新鏡頭設(shè)計(jì)的設(shè)置時間 ＜5min ＜5min

產(chǎn)品中心

PRODUCT CENTER