Trioptics μPhase®系列高精度干涉儀 用于測(cè)量高精度要求的光學(xué)零件，材料包括玻璃、塑料、金屬、陶瓷等，非接觸式測(cè)量可保證在不傷害光學(xué)表面的前提下對(duì)光學(xué)表面及波前進(jìn)行最精確的評(píng)價(jià)。μPhase®系列干涉儀得益于該設(shè)備緊湊與模塊化的設(shè)計(jì)理念，使它們得到靈活、高效的使用。μPhase®系列干涉儀的各個(gè)組成部件相對(duì)獨(dú)立，相互兼容，可靈活組合成有針對(duì)性應(yīng)用的強(qiáng)大干涉計(jì)量系統(tǒng)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

*模塊化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊

*測(cè)量適用性強(qiáng)，保證可以在各種工作與生產(chǎn)環(huán)境中進(jìn)行檢測(cè)

*可測(cè)量反射率0.3%-100%的光學(xué)表面，覆蓋范圍廣

*數(shù)字化測(cè)量，避免人為損壞

*完美的結(jié)構(gòu)，全面的軟件，為生產(chǎn)及實(shí)驗(yàn)室提供支持

*泰曼格林型/菲索型組合或用于校準(zhǔn)樣品的第二個(gè)相機(jī)，為μPhase®系列干涉儀的使用提供了便利

產(chǎn)品型號(hào)

● μPhase® 500

● μPhase® 1000

● μPhase® SPHERO UP

● μPhase® PLANO UP

● μPhase® Plano Down

● μPhase® Vertical

● μPhase® UNIVERSAL 100

技術(shù)規(guī)格

 典型應(yīng)用

μPhase® SPHERO UP， μPhase® PLANO UP，μPhase® Plano Down

*用于測(cè)量不同的平面和球面光學(xué)零件

*操作直觀而簡(jiǎn)單，適合非專業(yè)人士操作

*測(cè)量范圍：μPhase® Plano Down：平面φ≤2 mm 至 150 mm  

                   μPhase® PLANO UP：平面φ≤2 mm 至 100 mm

                   μPhase® SPHERO UP：球面，曲率半徑（凸面）2mm—225mm，直徑最大55mm；球面，曲率半徑（凹面）-3mm—-570mm

*結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間下，可靈活的與產(chǎn)線結(jié)合

μPhase® Vertical

*適用于廠房、車間、實(shí)驗(yàn)室的標(biāo)準(zhǔn)干涉儀檢測(cè)系統(tǒng)

*立式檢測(cè)，結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小

*標(biāo)配一個(gè)沿Z軸方向電動(dòng)平移的平臺(tái)，可選配第二個(gè)平臺(tái)

*傾斜及X/Y平移精調(diào)

*可完成各種類型的反射與透射檢測(cè)

*可采用透射法檢測(cè)雙膠合透鏡

*凹面與凸面球面鏡的檢測(cè)范圍：標(biāo)準(zhǔn)曲率半徑范圍：1mm-225mm，直徑最大55mm（采用50mm物鏡μLens PLANO 50）

*集成半徑測(cè)量單元

*可選CGH，用于測(cè)量非球面、柱面、輪胎面等

*曲率半徑實(shí)現(xiàn)一鍵式自動(dòng)測(cè)量

*Z軸方向設(shè)置導(dǎo)軌電機(jī)，電動(dòng)升降

μPhase® UNIVERSAL 100

*用于測(cè)量平面和球面的4英寸干涉檢測(cè)系統(tǒng)

*球面測(cè)量范圍：凹面曲率半徑最大-3000mm（提供相應(yīng)導(dǎo)軌）

*平面測(cè)量范圍：最大98mm

*半徑測(cè)量系統(tǒng)集成導(dǎo)軌和光柵尺

*適合長(zhǎng)焦光學(xué)零件和系統(tǒng)的檢測(cè)

*與市場(chǎng)上通用的4英寸標(biāo)準(zhǔn)球面物鏡相兼容

*可選旋轉(zhuǎn)對(duì)稱非球面的檢測(cè)配件，檢測(cè)范圍10mm-80mm，CGH檢測(cè)輪胎面、柱面等