Coherent AZURE NX 深紫外光激光器

緊湊型下一代固態(tài)激光器在平臺中提供低噪聲、266 nm 連續(xù)波，采用易于集成到半導(dǎo)體行業(yè)的工業(yè)環(huán)境的設(shè)計。

Coherent Azure NX 具有單頻操作和絕對波長穩(wěn)定功能。它通過 LAN 或 web GUI 進(jìn)行全自動操作。其融合了 1 W 的深紫外光、窄線寬和全天候可靠性，適用于要求嚴(yán)苛的應(yīng)用。

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Product Details

緊湊型下一代固態(tài)激光器在平臺中提供低噪聲、266 nm 連續(xù)波，采用易于集成到半導(dǎo)體行業(yè)的工業(yè)環(huán)境的設(shè)計。

Coherent Azure NX 具有單頻操作和絕對波長穩(wěn)定功能。它通過 LAN 或 web GUI 進(jìn)行全自動操作。其融合了 1 W 的深紫外光、窄線寬和全天候可靠性，適用于要求嚴(yán)苛的應(yīng)用。

型號名稱

輸出功率 (W)

線寬 (kHz)

指向（主動穩(wěn)定型）（urad）

M²

RMS 噪聲 (%)

（10 Hz 至 500 MHz）

Azure NX 266-1000